Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.